设备名称

G4.5代等离子清洗机

适用基板尺寸

适用于1500mm*1800mm*0.4mm以下所有尺寸基板

适用工艺

滚刷清洗

控制方式

三菱Q系列PLC全自动控制+CIM全厂通讯与控制

传输方式

Roller To Roller

设备类型

Double Conveyer   Type

工艺流程

LOAD→EUV→Brush-1→Brush-2→Rinse→B/J→Rinse→A/K→Unload

主要材质

CPVC

设备特点

1）具备FIX TYPE，Scaning Type模式碎片感应； 
     2）双层滚轮传输系统，左进左出或右进右出；
     3）CIM通讯；
     4）高精度滚刷，滚刷高度自动调整；
     5）水平衡系统，节约用水；
     6）使用高精密喷嘴，流量分布均匀性全局控制在5%以内；
     7）液刀、风刀智能开启与关闭功能，节约能耗。