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守护显示产业供应链,国产首台G6掩膜版清洗设备(Mask Cleaner)交付终端

关键词:掩膜版清洗机,Mask Cleaner,国产装备

在疫情与中美贸易摩擦的大背景下,受电视屏、手机屏、平板电脑屏,以及可穿戴设备显示屏等终端应用的强力牵引,以平板显示为核心的平板显示产业发展仍持续向好。但是另一方面,在现有的显示面板生产线中,90%以上的生产设备均被日韩等国外厂商占据,国产设备仅仅在非核心的自动化和检测设备方面占据部分份额。令人欣慰的是,这份遗憾正在被不断弥补。

Mask Cleaner用于OLED制程,清洗蒸镀设备内核心部件——Mask,AMOLED采用Mask蒸镀方式实现,而Mask精密度极高,极其脆弱,价格也极其昂贵,Mask洗净后的洗净效果与表面物理形貌将直接影响良率,也是降低成本的关键环节。Mask Cleaner代表AMOLED物理清洗的最高要求,且作为蒸镀机必匹配之核心设备,售价极其高昂。而目前,Mask Cleaner生产厂商都是日韩厂商,垄断形式明显。

针对这一情况,晶洲装备通过近三年的不断研发与实验数据收集,从G2.5Mask Cleaner原型机的设计制造到G4.5Mask Cleaner量产并获得性能数据,一步一个脚印,2020年4月,晶洲装备(KZONE)首台国产G6 掩膜版清洗设备(Mask Cleaner)成功交付装机,这是首台由中国企业完全自主研发生产的G6 掩膜版清洗设备(Mask Cleaner)设备,打破了国外厂商的垄断,极大的降低了面板厂商的设备成本,进一步推动了装备国产化的进程。

晶洲装备G6掩膜版清洗机(Mask Cleaner)在客户端交付量产

晶洲装备G6 Mask Cleaner采用多波段复频超声波,频率可自由切换,球面超声波技术,清洗无死角。清洗质量无mura、水痕、锈斑、脏污,无损伤,UV照射无亮点,平坦度百微米内,微米级Total Pitch变化,颗粒数量少,搬送重复精度高,温度稳定,设备内部洁净度Class 100,完全符合客户端端对于设备硬件及工艺规格要求。

晶洲装备国产首台G6掩膜版清洗设备(Mask Cleaner)

2020年初,全球各类突发事件层出不穷,“黑天鹅”与“灰犀牛”共舞,新冠肺炎对中美贸易摩擦与全球产业链重构产生了不可小觑的影响。在这种情况下,装备国产化就变得更加重要。一方面,装备国产化可以完善产业结构,稳定供应链,应对随时可能面临的技术封锁与进制出口,另一方面可以解决需要在国际市场上的高价采购,降低采购成本。晶洲装备自成立以来,一直以湿制程装备国产化,完善稳定产业供应链为奋斗目标,先后完成了G6湿法刻蚀设备(Wet Etcher)、G6光阻剥离设备(Stripper)、G6 入料清洗机(Initial Cleaner)等一系列湿制程设备的自主研发,并成功获得市场认可,在客户端先后实现量产,打破了国外企业的垄断,进一步稳定了平板显示设备供应链。

晶洲装备总经理蒋新表示:“晶洲装备作为土生土长的中国企业,一直致力于湿制程装备国产化进程的推进与产业供应链的稳定,此次第一台中国厂商完全自主研发生产的G6 Mask Cleaner的成功交付与装机是晶洲湿制程装备在赶超国际厂商道路上的一个新的里程碑,进一步证明了国产设备商的能力,为2020年奠定了一个良好的基础。

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